| 1 | Перчаточный бокс с интегрированной установкой вакуумного термического напыления органических и неорганических пленок | ОКПД2: 28.29.60.000 · Установки для обработки материалов с использованием процессов, включающих изменение температуры, не включенные в другие группировки | - Внешние габариты всех узлов установки (Узел — часть оборудования, которая может быть транспортирована отдельно и собрана на месте у Заказчика силами поставщика) не должны превышать следующие параметры: максимальная ширина узлов — 1000 мм, максимальная высота узлов — 1900 мм, максимальная длина – 2000 мм, максимальный вес узлов - 930 кг: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Бокс одностороннего обслуживания: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Толщина панели смотрового окна: не менее 12 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Смотровое окно изготовлено из химически стойкого органического стекла: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Перчаточные порты смонтированы непосредственно на смотровом окне: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Герметичность бокса подтверждена актом испытаний от производителя: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Основная камера перчаточного бокса должна иметь форму:: cпереди – прямоугольник; cбоку - прямоугольной трапеции. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Камера перчаточного должна быть изготовлена из нержавеющей стали толщиной стенок не менее 3 мм: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Внутренняя ширина основной рабочей камеры: не менее 1750, не более 2000 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
- Внутренняя глубина основной рабочей камеры: не менее 800, не более 900 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
- Внутренняя высота основной рабочей камеры: не менее 800, не более 900 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
- Количество перчаточных портов: не менее 4 Штука. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Диаметр перчаточного порта: не менее 210 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Перчаточный бокс должен быть оборудован малым и большим цилиндрическими шлюзами: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Внутренний диаметр и длина малого цилиндрического шлюза должны быть не менее, чем ø120х300: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Внутренний диаметр и длина большого цилиндрического шлюза должны быть не менее, чем ø360х500 мм: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Шлюзовая камера с клапанами откачки и напуска газа (класс защиты IP65 (или выше), уровень утечек по EN 12266-1, класс А (или выше), управление которыми автоматизировано и производится с единой панели управления установки. Обеспечена возможность замещения атмосферы в автоматическом или ручном режиме без необходимости подключения источника сжатого газа для привода клапанов: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Перчаточный бокс должен быть оборудован металлической подставкой для работы стоя: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Основная камера перчаточного бокса должна быть оборудована кварцевым окном размером не менее чем 10*10 см с защитным экраном. Расположение и размер окна должны быть согласованы с Заказчиком: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Шлюзовая камера оснащена клапанами откачки и напуска газа (класс защиты не хуже IP65) управление которыми автоматизировано и производится с единой панели управления установки. Замещение атмосферы возможно в автоматическом или ручном режиме: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Шлюзовая камера должна быть вакуумируемая: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Для откачки шлюзовых камер используется вакуумный насос, входящий в комплект перчаточного бокса: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Расположение шлюзов перчаточного бокса должно быть согласовано с Заказчиком: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Основной материал камеры – нержавеющая сталь. Внутренняя поверхность полированная, а внешняя поверхность может окрашена краской: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Микрорельеф поверхности не является грязеудерживающим: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Камера перчаточного бокса должна быть оборудована блоком электрических розеток: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Количество электрических розеток (тип Евро стандарт) в блоке: не менее 4 Штука. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
- Материал корпуса блока розеток: Алюминиевый сплав. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Камера должна быть оборудована герметичным вводом для круглых проводов и трубок: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Количество возможных круглых вводов в герметичном блоке: не менее 20 Штука. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
- Камера бокса оснащена двумя стальными полками: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Максимальная нагрузка на каждую полку: не менее 25 Килограмм. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Ширина полки в основной камере перчаточного бокса: не менее 400, не более 600 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
- Глубина полки в основной камере перчаточного бокса: не менее 200, не более 350 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
- Расположение полок в камере бокса должно быть согласовано с Заказчиком: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Мощность подсветки: не менее 40 Ватт. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
- Световой поток: не менее 4000 Люмен. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
- Степень пылевлагозащиты: ≥IP65. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Цветовая температура: не менее 4000, не более 6000 Кельвин. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
- Количество систем газовой очистки от примесей кислорода и влаги: не менее 1 Штука. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Минимальное достигаемое значение примесей кислорода в очищаемом газе, ppm: не более 1. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Минимальное достигаемое значение примесей влаги в очищаемом газе, ppm: не более 1. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Присоединительные фланцы для входа и выхода очищаемого газа, KF40: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- В комплект поставки системы очистки должен входить вакуумный насос: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Типоразмер присоединительных фланцев вакуумного насоса, KF25: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Номинальное напряжение однофазной сети для электропитания вакуумного насоса: 220 В, 50 Гц: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Система очистки должна иметь функцию продувки инертным газом подключенного перчаточного бокса в течение заданного времени: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Система очистки должна иметь функцию поддержания заданного давления в подключенном перчаточном боксе: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Функция поддержания заданного давления в подключенном перчаточном боксе должна быть активна как во время очистки газа, так и режиме регенерации поглотителей: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Система поддержания давления должна иметь механический регулятор расхода инертного газа, поступающего в перчаточный бокс: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Сброс газа при работе системы регулирования давления или продувки должен осуществляться в линию откачки вакуумного насоса: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Датчик давления должен быть установлен на перчаточном боксе: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Датчик давления должен иметь возможность измерения избыточного и вакуумметрического давлений: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Тип привода встроенных клапанов: Электромагнитный. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Все встроенные клапаны должны иметь возможность работать без подключения сжатого газа или воздуха к системе очистки газа: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Основная часть корпуса системы очистки газа должна быть изготовлена из нержавеющей стали: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Система очистки газа должна быть оборудована газоанализатором кислорода с электрохимическим чувствительным элементом: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Электрохимический сенсор газоанализатора кислорода должен быть установлен на входном патрубке системы очистки газа: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Температура любых элементов газоанализатора кислорода при использовании не должна превышать: не более 80 Градус Цельсия. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
- Минимальное измеряемое значение концентрации кислорода газоанализатором кислорода, ppm: не более 0.1. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Система очистки газа должна быть оборудована газоанализатором влаги с емкостным сорбционным чувствительным элементом: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Газоанализатор влаги должен быть установлен на входном патрубке системы очистки газа: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Минимальное измеряемое значение концентрации влаги газоанализатором влаги, ppm: не более 1. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Возможность регенерации поглотителя без разгерметизации установки: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Система очистки газа должна быть оборудована пультом управления с сенсорным дисплеем: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Диагональ сенсорного дисплея: не менее 6 Дюйм (25,4 мм). Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
- Ёмкость с поглотителем должна быть оборудована датчиком давления, показания которого используются системой управления в процессе автоматической регенерации: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Все газовые каналы должны управляться электромагнитными клапанами: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Регенерация очистной колонны должна быть автоматизирована: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Колонна очистки после адсорбционного насыщения регенерируется водородом, содержащим газообразный азот или аргон, с содержанием водорода 5%: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Система газовой очистки должна быть расположена под основной камерой перчаточного бокса или по согласованию с Заказчиком: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Количество перчаток: не менее 4 Штука. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Длина перчатки: не менее 800, не более 900 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
- Толщина перчатки: не менее 0.3, не более 0.6 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
- Отсутствие клееных или сварных швов на перчатках, цельнолитое исполнение перчатки: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Рекомендованный производителем срок хранения и использования: не менее 3 Год. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Перчатки сделаны из бутилкаучука: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Камера выполнена из высококачественной нержавеющей стали и герметично интегрирована в перчаточный бокс: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Внутренняя высота основной рабочей вакуумной испарительной камеры: не менее 650 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Внутренняя ширина основной рабочей вакуумной испарительной камеры: не менее 520 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Внутренняя глубина основной рабочей вакуумной испарительной камеры: не менее 500 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Передняя дверь вакуумной установки раздвижная – открывается внутри перчаточного бокса: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Задняя дверь вакуумной установки распашная - открывается на внешнюю атмосферу: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Наличие дополнительного герметичного порта KF25 для возможности введения электрических проводов в вакуумную камеру для проведения измерений внутри камеры;: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- На передней и задней дверях установлены по два смотровых окна DN100 для наблюдения за условиями работы образцов и источников испарения: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- В смотровых окнах установлены ручные магнитные перегородки, блокирующие стекло смотрового окна и предотвращающие загрязнение покрытия: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Наличие порта для установки системы вакуумной откачки: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Наличие портов с установленными датчиками измерения вакуума: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Скорость обнаружения утечек с помощью гелиевой масс-спектрометрии не более 6х10-8 Па×м3/с: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Наличие байпасной вакуумной линии для возможности вакуумирования камеры напрямую от форвакуумного насоса: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Для возможности оснащения камеры дополнительным оборудованием. Вакуумная испарительная камера оснащается дополнительными портами с заглушками по согласованию с Заказчиком: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Камера должна быть оснащена внутренними защитными металлическими экранами на всех плоскостях камеры: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Внутреннее пространство камеры имеет функцию освещения: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Размер держателя для образцов не менее 125 мм на 125 мм: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Держатель для образцов должен обеспечивать установку металлической пластины (входит в комплект) в боковые пазы для возможности размещения в ней не менее 16 образцов на стеклянной подложке (размер стеклянных подложек 23х23 мм и толщиной 2 мм) с металлическими масками: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Держатель для образцов оснащен функцией с регулируемым вращением со скоростью в интервале не менее 2 ÷ 20 об/мин в процессе напыления: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Держатель должен иметь электрическую выдвижную защитную перегородку из металла, препятствующую нежелательному осаждению испаряемых материалов на образцы: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Держатель образцов должен иметь индикатор позиционирования, звуковые и световые подсказки: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Держатель для образцов должен иметь функцию регулирования по высоте в диапазоне от 1 до 150 мм: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Держатель для образцов должен иметь функцию нагрева в диапазоне температур от комнатной до не менее чем 150 ◦С, с точностью контроля температуры +\-1 °C: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Установка должна быть оснащена библиотекой масочных плат, которая может быть поднята с помощью электропривода и вмещать не менее 6 масочных плат: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Расстояние между платами масок и подложкой покрытия: не более 0.5 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
- Вакуумная камера должна быть оснащена роботизированным линейным магнитным манипулятором для смены масок в виде механически движимой руки с держателем: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Манипулятор для смены масок — позволяет менять маску на образце без разгерметизации в вакуумной камере: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Источник испарения неорганических соединений типа «лодочка» с максимальной температурой нагрева не менее 1400 ◦С, оснащенный собственным электрическим блоком питания мощностью не менее 2000 Вт: не менее 2 Штука. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Источник испарения неорганических соединений типа «тигель» (объем 5 мл) с функцией водяного охлаждения, контролем температуры +\-1 °C и максимальной температурой нагрева не ниже 1300°С, оснащенный собственным электрическим блоком питания мощностью не менее 1300 Вт: не менее 1 Штука. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Источник испарения органических соединений типа «тигель» (объем 3 мл) с функцией водяного охлаждения, контролем температуры +\-1 °C и максимальной температурой нагрева не ниже 500°С, оснащенный собственным электрическим блоком питания мощностью не менее 300 Вт: не менее 8 Штука. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Все источники испарения должны быть оснащены защитной заслонкой электромагнитного или пневматического типа: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Возможность одновременно и контролируемо по толщине и скорости испарять до 3 различных органических соединений с разных источников испарения типа «тигель»: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Возможность одновременно и контролируемо по скорости и толщине испарять не менее 2 различных неорганических соединений с разных источников типа «лодочка»: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Система измерения толщин пленок состоит не менее чем из 2 комплектов измерителей толщины пленки, каждый из которых оснащен не менее чем 6 каналами для подсоединения кварцевых датчиков толщины, для прецизионного измерения толщины наносимой плёнки с формированием сигнала обратной связи с системой напыления: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Камера оснащена не менее чем 12 кварцевыми датчиками толщины пленки: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Система измерителей толщин пленок позволяет одновременно наблюдать за параметрами и контролировать испарение не менее 3 различных органических соединений с разных источников испарения типа «тигель»: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Система измерения толщин пленок должна позволять контролировать скорость испарения как каждого отдельной пленки, так и общую толщину многослойного покрытия: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Для корректной работы охлаждения «тиглей» и других элементов системы, требующих жидкостного охлаждения, требуется подключение к циркуляционному водяному охладителю (мощностью до 6 кВт), в комплект не входит: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Автоматизация системы контроля испарения, реализуется с помощью встроенных датчиков толщины пленки и связанного с этим процессом управляющего программного обеспечения с наличием английского или русского языка: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Автоматическая система контроля испарения пленок устанавливает скорость испарения и конечную толщину пленки: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Автоматическая система должна обеспечиваться возможность программирования и сохранения технологических рецептов напыления пленок: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Автоматизация должна позволять контролировать скорость испарения и скорость совместного испарения, задавать толщину пленок, а также температуру и последовательность испарения материалов с разных источников испарения: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Управляющая электроника системой испарения и перчаточным боксом должна быть размещена в отдельной стойке: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Управляющая электроника системой испарения и перчаточным боксом должна содержать: щит распределения электропитания; кнопку аварийного отключения установки; систему управления и контроля; блоки питания вакуумных насосов; блоки питания нагревателей: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Управляющая электроника системой испарения и перчаточным боксом должна включать контроллер системы автоматизации, представляющий собой основное исполнительное устройство, программируемое через интерфейс высокого уровня (персональный компьютер), и связанное с внешними устройствами установки термического напыления посредством цифровых и аналоговых интерфейсов: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Управляющая электроника системой испарения и перчаточным боксом должна обеспечивать возможность программирования и сохранения: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Автоматизация должна позволять контролировать скорость испарения и скорость совместного испарения материалов, задавать конечную толщину пленок, температуру и последовательность испарения материалов, а также задавать время паузы между напылением пленок из разных источников испарения: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Автоматизация системы контроля испарения, реализуется с помощью встроенных датчиков толщины пленки и связанного с этим процессом управляющего программного обеспечения: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Оборудование должно быть оснащено источником бесперебойного питания (максимальная мощность не менее 10 кВт и временем работы от аккумулятора не менее 5 минут) на случай кратковременного отключения электричества для защиты дорогостоящих узлов установки, в том числе форвакуумного и турбомолекулярного насоса: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Производительность форвакуумного безмасляного спирального насоса, л/с: не менее 8. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Вакуумные насосы испарительной камеры и перчаточного бокса должны обеспечивать предельное остаточное давление в камере напыление менее 2х10-5 Па и достижение давления в 6х10-5 за время не более 50 минут: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Производительность безмасляного турбомолекулярного насоса, л/с: не менее 1200. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Высоковакуумные насосы вакуумной испарительной камеры должны комплектоваться заливной азотной ловушкой для защиты от паров органических растворителей: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Комплект запасных материалов на 2 года работы установки требующих замены: в том числе медная накладка, фартук, кварцевая пластина, прецизионный подшипник, воздушный насос, уплотнительные резинки для дверей вакуумной камеры: Соответствие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
- Запасной кварцевый тигель (объем 3 мл) для органических испарителей типа «тигель»: не менее 40 Штука. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Запасные вольфрамовые испарительные лодочки для неорганических испарителей типа «лодочка»: не менее 40 Штука. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Запасные высокотемпературный тигли (объем 5 мл) для неорганического испарителя: не менее 2 Штука. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Кварцевые осцилляторы для измерения толщины: не менее 100 Штука. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
- Запасные бутилкаучуковые перчатки для перчаточного бокса: не менее 6 Штука. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
| 1 Комплект | 26 615 000,00 руб. за единицу Всего 26 615 000,00 руб. | |