ИЗИАР

№ 1

Установка нанесения тонких пленок методом атомно-слоевого осаждения на подложки

Классификатор: ОКПД2: 28.99.20.150 · Оборудование для формирования тонкопленочных структур полупроводниковых приборов
Характеристики: 2.1.1.20. Диапазон регулировки высоты позиции держателя подложек от пола при его приеме через систему боковой загрузки в камеру: Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
2.1.1.21. Точность (шаг) регулировки указанного диапазона высоты позиции держателя подложек при его приеме через систему боковой загрузки в камеру: не более 5 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.22. Пневмоуправляемый высоковакуумный затвор, обеспечивающий стыковку камеры с перегрузочным вакуумным шлюзом.: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.1.23. Высота окна для загрузки держателя подложек из перегрузочного вакуумного шлюза через боковую систему загрузки и пневмоуправляемый высоковакуумный затвор: не менее 20, не более 50 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.24. Ширина окна для загрузки держателя подложек из перегрузочного вакуумного шлюза через боковую систему загрузки и пневмоуправляемый высоковакуумный затвор: не менее 170, не более 220 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.2.        Термостатирование системы нагрева образцов: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
Показать ещё 66
2.1.2.1.    Диапазон температур нагрева и термостатирования системы нагрева образцов: Градус Цельсия. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
2.1.2.2.    Точность поддержания температуры системы нагрева образцов: не более 1 Градус Цельсия. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.2.3.    Диапазон температур нагрева и термостатирования вакуумной камеры: Градус Цельсия. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
2.1.2.4.    Точность поддержания температуры вакуумной камеры: не более 1 Градус Цельсия. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.3.       Расположение фланцев вакуумной откачки: на нижней стенке вакуумной камеры; на боковой стенке вакуумной камеры, противоположной узлу подачи прекурсоров. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке только одно значение характеристики.
2.1.4.       Количество фланцев вакуумной откачки: не менее 2. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.5.        Тип системы откачки, обеспечивающей рабочее разряжение в вакуумной камере: Безмасляная система откачки. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.6.        Тип низковакуумного насоса системы откачки: Спиральный безмасляный насос; турбомолекулярный насос. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке только одно значение характеристики.
2.1.6.1.    Скорость откачки низковакуумного насоса: не менее 15 Кубический метр в час. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.6.2.    Предельное остаточное давление низковакуумного насоса: не более 1 Паскаль. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.7.        система пневмоуправляемых клапанов, позволяющих производить откачку камеры в автоматическом режиме: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.8.        компрессор для пневматической системы установки: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.9.        Вакуумметр на весь диапазон рабочих давлений вакуумной камеры и низковакуумного насоса: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.9.1.    Диапазон давлений, измеряемых вакуумметром: Паскаль. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
2.1.9.2.    Погрешности измерения давления вакууметрами от текущей величины во всём диапазоне измерений: не более 30 Процент. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.10.    Система независимых каналов подачи в камеру прекурсоров наносимых веществ и реакционных газов (вода, кислород, озон, сероводород в чистом виде и в составе газа-носителя): Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.10.1. Количество независимых каналов подачи прекурсоров наносимых веществ в камеру в виде газов или паров с помощью газа-носителя с регулятором расхода газа (РРГ): не менее 3. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.10.2. Независимый канал подачи реакционных газов (вода, кислород, озон, сероводород в чистом виде и в составе газа носителя) в камеру с помощью регуляторов расхода газа (РРГ): Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.10.3. Узел распределенной подачи прекурсоров внутри вакуумной камеры: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.10.4. Система термостатирования всех каналов подачи газообразных реагентов в камеру с ПИД регуляцией: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.10.4.1.       Диапазон температур термостатирования каналов подачи газообразных реагентов в камеру: Градус Цельсия. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
2.1.10.5. Материал каналов подачи прекурсоров наносимых веществ и реакционных газов (вода, кислород, озон, сероводород в чистом виде и в составе газа носителя) в камеру в виде газов и реакционных газов: Нержавеющая сталь, обеспечивающая коррозионную стойкость: марка стали 316L. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.10.6. Материал корпуса клапанов каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру: Нержавеющая сталь 316L VIM-VAR. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.10.7. материал мембраны клапанов каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру: кобальто-хромо-никель-молибденовый сплав UNS R30003; кобальто-хромо-никель-молибденовый сплав UNS R30008. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.10.8. материал седла клапанов каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру: высокочистый перфторалкокси-полимер (PFA) с полным фторированием. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.10.9. материал крышки седла клапанов каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру: нержавеющая сталь 17-4 PH (тип 630, UNS S17400). Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.10.10.                 Показатель шероховатости поверхности клапанов каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру, соприкасающейся с рабочей средой (Ra): не более 0.00013 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.10.11.                 Утечка гелия через седло, обшивку и все уплотнения клапанов каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру, см3/с: не более 0.000000001. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.10.12.                 Время открытия и закрытия каждого клапана каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру: не более 0.005 Секунда. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.10.13.                 Электронный датчик положения клапана каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.11.    система обезвреживания отходящих реакционных газов системы (скруббер): Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.11.1. Отклонение толщины осаждения вещества по Al2O3 от средней величины толщины для подложки диаметром 150 мм: не более 10 Процент. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.12.    автоматизированная система управления установкой с возможностью перехода на ручное управление в любой точке технологического процесса,: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.12.1. Параметры процесса напыления, задаваемые автоматизированной системой управления установкой: Давление в вакуумной камере; потоки рабочих газов; температура держателя образцов; время напыления; количество циклов нанесения материалов. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.12.2. возможность сохранять рецепты технологических операций, хранить и экспортировать данные по проведению процесса с использованием автоматизированной системы управления установкой: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.12.3. возможность выдерживать аварийное отключение электроэнергии, обеспечивая остановку оборудования без повреждения агрегатов и узлов через автоматизированную систему управления: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.12.4. обеспечение индикации текущего состояния технологического процесса и механизмов, сигнализации аварийных состояний и осуществления автоматической блокировки требуемых механизмов при возникновении аварийной ситуации (в том числе, в случае прекращения работы системы охлаждения и при достижении минимально допустимых значений рабочего давления в камере).: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.13.    Силовая рама для установки вакуумной камеры: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.13.1. Материал силовой рамы: Алюминий; Сталь. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.13.2. Внешняя высота силовой рамы, на которую устанавливается вакуумная камера: не менее 700, не более 1000 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.13.3. Внешняя ширина силовой рамы, на которую устанавливается вакуумная камера: не менее 300, не более 500 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.13.4. Внешняя длина силовой рамы, на которую устанавливается вакуумная камера: не менее 300, не более 500 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.13.5. Диапазон регулировки высоты опор силовой рамы установки: Сантиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
2.1.14.     Расположение блоков питания и управления технологическим оборудованием вакуумной камеры: отдельно от вакуумной камеры. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.14.1. Минимальное возможное удаление места размещения блоков питания и управления технологическим оборудованием от вакуумной камеры: не менее 1.5 Метр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.14.2. Вес установки в сборе: не более 500 Килограмм. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1. Вакуумная камера: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.1.1. Материал вакуумной камеры: нержавеющая сталь. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.1.2. Требования к внутренней поверхности камеры и поверхности внутрикамерных экранов: Полированная внутренняя поверхность. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.1.3. шероховатость внутренней поверхности камеры и поверхностей внутрикамерных экранов (Ra): не более 0.002 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.4. Исполнение сварных швов вакуумной камеры: с внутренней стороны камеры, полированные. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.1.5. Внутренняя высота вакуумной камеры.: не менее 30, не более 250 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.6. Внутренняя длина вакуумной камеры: не менее 170, не более 250 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.7. Внутренняя ширина вакуумной камеры: не менее 170, не более 250 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.8. Внешняя высота вакуумной камеры: не менее 150, не более 500 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.9. Внешняя длина вакуумной камеры: не менее 200, не более 350 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.10. Внешняя ширина вакуумной камеры: не менее 200, не более 350 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.11. Схема совмещения держателя подложек с нагревателем подложек и направление осаждения веществ на подложки, совместимая с вакуумным напылением «снизу-вверх» при боковой загрузке с линейным манипулятором: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.1.12. Возможность прижима «снизу вверх» держателя подложек к нагреваемой внутренней поверхности верхнего загрузочного люка: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.1.13. Предельное остаточное давление в камере со всем установленным предусмотренным оборудованием и механизмами с использованием штатной системы откачки установки низковакуумным насосом: не более 0.5 Паскаль. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.14. Время достижения рабочего давления в камере со всем установленным предусмотренным оборудованием и механизмами при откачке от атмосферного давления до давления менее 1*10-1 Па с использованием штатной системы откачки установки низковакуумным насосом: не более 10 Минута. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.15. Верхний загрузочный люк вакуумной камеры для загрузки/выгрузки подложек в камеру/из камеры: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.1.16. Нагреватель подложек в верхнем загрузочном люке камеры: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.1.17. Нагреватель подложек в дне вакуумной камеры: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.1.18. Внутренний размер минимальной стороны либо диаметра створа верхнего загрузочного люка камеры: не менее 185 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.19. Боковая система загрузки держателя подложек в камеру для возможности стыковки Установки с перегрузочным вакуумным шлюзом, либо с камерой вакуумного напыления, с линейным манипулятором.: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
Количество: 1 Комплект
Распределение по заказчикам: Распределение отсутствует в XML
Цена: 13 000 000,00 руб. за единицу
Всего 13 000 000,00 руб.
Дополнительные признаки: Ограничение иностранных товаров

Похожие позиции

№	Наименование	Классификатор	Характеристики	Количество	Цена	Действия
1	Установка нанесения тонких пленок методом атомно-слоевого осаждения на подложки Ограничение иностранных товаров	ОКПД2: 28.99.20.150 · Оборудование для формирования тонкопленочных структур полупроводниковых приборов	2.1.1.20. Диапазон регулировки высоты позиции держателя подложек от пола при его приеме через систему боковой загрузки в камеру: Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики. 2.1.1.21. Точность (шаг) регулировки указанного диапазона высоты позиции держателя подложек при его приеме через систему боковой загрузки в камеру: не более 5 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.1.22. Пневмоуправляемый высоковакуумный затвор, обеспечивающий стыковку камеры с перегрузочным вакуумным шлюзом.: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.1.23. Высота окна для загрузки держателя подложек из перегрузочного вакуумного шлюза через боковую систему загрузки и пневмоуправляемый высоковакуумный затвор: не менее 20, не более 50 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.1.24. Ширина окна для загрузки держателя подложек из перегрузочного вакуумного шлюза через боковую систему загрузки и пневмоуправляемый высоковакуумный затвор: не менее 170, не более 220 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.2. Термостатирование системы нагрева образцов: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.2.1. Диапазон температур нагрева и термостатирования системы нагрева образцов: Градус Цельсия. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики. 2.1.2.2. Точность поддержания температуры системы нагрева образцов: не более 1 Градус Цельсия. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.2.3. Диапазон температур нагрева и термостатирования вакуумной камеры: Градус Цельсия. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики. 2.1.2.4. Точность поддержания температуры вакуумной камеры: не более 1 Градус Цельсия. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.3. Расположение фланцев вакуумной откачки: на нижней стенке вакуумной камеры; на боковой стенке вакуумной камеры, противоположной узлу подачи прекурсоров. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке только одно значение характеристики. 2.1.4. Количество фланцев вакуумной откачки: не менее 2. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.5. Тип системы откачки, обеспечивающей рабочее разряжение в вакуумной камере: Безмасляная система откачки. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.6. Тип низковакуумного насоса системы откачки: Спиральный безмасляный насос; турбомолекулярный насос. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке только одно значение характеристики. 2.1.6.1. Скорость откачки низковакуумного насоса: не менее 15 Кубический метр в час. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.6.2. Предельное остаточное давление низковакуумного насоса: не более 1 Паскаль. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.7. система пневмоуправляемых клапанов, позволяющих производить откачку камеры в автоматическом режиме: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.8. компрессор для пневматической системы установки: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.9. Вакуумметр на весь диапазон рабочих давлений вакуумной камеры и низковакуумного насоса: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.9.1. Диапазон давлений, измеряемых вакуумметром: Паскаль. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики. 2.1.9.2. Погрешности измерения давления вакууметрами от текущей величины во всём диапазоне измерений: не более 30 Процент. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.10. Система независимых каналов подачи в камеру прекурсоров наносимых веществ и реакционных газов (вода, кислород, озон, сероводород в чистом виде и в составе газа-носителя): Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.10.1. Количество независимых каналов подачи прекурсоров наносимых веществ в камеру в виде газов или паров с помощью газа-носителя с регулятором расхода газа (РРГ): не менее 3. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.10.2. Независимый канал подачи реакционных газов (вода, кислород, озон, сероводород в чистом виде и в составе газа носителя) в камеру с помощью регуляторов расхода газа (РРГ): Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.10.3. Узел распределенной подачи прекурсоров внутри вакуумной камеры: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.10.4. Система термостатирования всех каналов подачи газообразных реагентов в камеру с ПИД регуляцией: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.10.4.1. Диапазон температур термостатирования каналов подачи газообразных реагентов в камеру: Градус Цельсия. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики. 2.1.10.5. Материал каналов подачи прекурсоров наносимых веществ и реакционных газов (вода, кислород, озон, сероводород в чистом виде и в составе газа носителя) в камеру в виде газов и реакционных газов: Нержавеющая сталь, обеспечивающая коррозионную стойкость: марка стали 316L. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.10.6. Материал корпуса клапанов каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру: Нержавеющая сталь 316L VIM-VAR. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.10.7. материал мембраны клапанов каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру: кобальто-хромо-никель-молибденовый сплав UNS R30003; кобальто-хромо-никель-молибденовый сплав UNS R30008. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.10.8. материал седла клапанов каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру: высокочистый перфторалкокси-полимер (PFA) с полным фторированием. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.10.9. материал крышки седла клапанов каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру: нержавеющая сталь 17-4 PH (тип 630, UNS S17400). Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.10.10. Показатель шероховатости поверхности клапанов каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру, соприкасающейся с рабочей средой (Ra): не более 0.00013 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.10.11. Утечка гелия через седло, обшивку и все уплотнения клапанов каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру, см3/с: не более 0.000000001. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.10.12. Время открытия и закрытия каждого клапана каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру: не более 0.005 Секунда. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.10.13. Электронный датчик положения клапана каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.11. система обезвреживания отходящих реакционных газов системы (скруббер): Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.11.1. Отклонение толщины осаждения вещества по Al2O3 от средней величины толщины для подложки диаметром 150 мм: не более 10 Процент. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.12. автоматизированная система управления установкой с возможностью перехода на ручное управление в любой точке технологического процесса,: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.12.1. Параметры процесса напыления, задаваемые автоматизированной системой управления установкой: Давление в вакуумной камере; потоки рабочих газов; температура держателя образцов; время напыления; количество циклов нанесения материалов. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.12.2. возможность сохранять рецепты технологических операций, хранить и экспортировать данные по проведению процесса с использованием автоматизированной системы управления установкой: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.12.3. возможность выдерживать аварийное отключение электроэнергии, обеспечивая остановку оборудования без повреждения агрегатов и узлов через автоматизированную систему управления: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.12.4. обеспечение индикации текущего состояния технологического процесса и механизмов, сигнализации аварийных состояний и осуществления автоматической блокировки требуемых механизмов при возникновении аварийной ситуации (в том числе, в случае прекращения работы системы охлаждения и при достижении минимально допустимых значений рабочего давления в камере).: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.13. Силовая рама для установки вакуумной камеры: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.13.1. Материал силовой рамы: Алюминий; Сталь. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.13.2. Внешняя высота силовой рамы, на которую устанавливается вакуумная камера: не менее 700, не более 1000 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.13.3. Внешняя ширина силовой рамы, на которую устанавливается вакуумная камера: не менее 300, не более 500 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.13.4. Внешняя длина силовой рамы, на которую устанавливается вакуумная камера: не менее 300, не более 500 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.13.5. Диапазон регулировки высоты опор силовой рамы установки: Сантиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики. 2.1.14. Расположение блоков питания и управления технологическим оборудованием вакуумной камеры: отдельно от вакуумной камеры. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.14.1. Минимальное возможное удаление места размещения блоков питания и управления технологическим оборудованием от вакуумной камеры: не менее 1.5 Метр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.14.2. Вес установки в сборе: не более 500 Килограмм. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.1. Вакуумная камера: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.1.1. Материал вакуумной камеры: нержавеющая сталь. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.1.2. Требования к внутренней поверхности камеры и поверхности внутрикамерных экранов: Полированная внутренняя поверхность. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.1.3. шероховатость внутренней поверхности камеры и поверхностей внутрикамерных экранов (Ra): не более 0.002 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.1.4. Исполнение сварных швов вакуумной камеры: с внутренней стороны камеры, полированные. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.1.5. Внутренняя высота вакуумной камеры.: не менее 30, не более 250 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.1.6. Внутренняя длина вакуумной камеры: не менее 170, не более 250 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.1.7. Внутренняя ширина вакуумной камеры: не менее 170, не более 250 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.1.8. Внешняя высота вакуумной камеры: не менее 150, не более 500 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.1.9. Внешняя длина вакуумной камеры: не менее 200, не более 350 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.1.10. Внешняя ширина вакуумной камеры: не менее 200, не более 350 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.1.11. Схема совмещения держателя подложек с нагревателем подложек и направление осаждения веществ на подложки, совместимая с вакуумным напылением «снизу-вверх» при боковой загрузке с линейным манипулятором: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.1.12. Возможность прижима «снизу вверх» держателя подложек к нагреваемой внутренней поверхности верхнего загрузочного люка: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.1.13. Предельное остаточное давление в камере со всем установленным предусмотренным оборудованием и механизмами с использованием штатной системы откачки установки низковакуумным насосом: не более 0.5 Паскаль. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.1.14. Время достижения рабочего давления в камере со всем установленным предусмотренным оборудованием и механизмами при откачке от атмосферного давления до давления менее 1*10-1 Па с использованием штатной системы откачки установки низковакуумным насосом: не более 10 Минута. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.1.15. Верхний загрузочный люк вакуумной камеры для загрузки/выгрузки подложек в камеру/из камеры: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.1.16. Нагреватель подложек в верхнем загрузочном люке камеры: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.1.17. Нагреватель подложек в дне вакуумной камеры: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки. 2.1.1.18. Внутренний размер минимальной стороны либо диаметра створа верхнего загрузочного люка камеры: не менее 185 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики. 2.1.1.19. Боковая система загрузки держателя подложек в камеру для возможности стыковки Установки с перегрузочным вакуумным шлюзом, либо с камерой вакуумного напыления, с линейным манипулятором.: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.	1 Комплект	13 000 000,00 руб. за единицу Всего 13 000 000,00 руб.	Похожие позиции

№

Наименование

Классификатор

Характеристики

Количество

Цена

Действия

Установка нанесения тонких пленок методом атомно-слоевого осаждения на подложки

Ограничение иностранных товаров

ОКПД2: 28.99.20.150 · Оборудование для формирования тонкопленочных структур полупроводниковых приборов

2.1.1.20. Диапазон регулировки высоты позиции держателя подложек от пола при его приеме через систему боковой загрузки в камеру: Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
2.1.1.21. Точность (шаг) регулировки указанного диапазона высоты позиции держателя подложек при его приеме через систему боковой загрузки в камеру: не более 5 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.22. Пневмоуправляемый высоковакуумный затвор, обеспечивающий стыковку камеры с перегрузочным вакуумным шлюзом.: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.1.23. Высота окна для загрузки держателя подложек из перегрузочного вакуумного шлюза через боковую систему загрузки и пневмоуправляемый высоковакуумный затвор: не менее 20, не более 50 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.24. Ширина окна для загрузки держателя подложек из перегрузочного вакуумного шлюза через боковую систему загрузки и пневмоуправляемый высоковакуумный затвор: не менее 170, не более 220 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.2. Термостатирование системы нагрева образцов: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.2.1. Диапазон температур нагрева и термостатирования системы нагрева образцов: Градус Цельсия. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
2.1.2.2. Точность поддержания температуры системы нагрева образцов: не более 1 Градус Цельсия. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.2.3. Диапазон температур нагрева и термостатирования вакуумной камеры: Градус Цельсия. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
2.1.2.4. Точность поддержания температуры вакуумной камеры: не более 1 Градус Цельсия. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.3. Расположение фланцев вакуумной откачки: на нижней стенке вакуумной камеры; на боковой стенке вакуумной камеры, противоположной узлу подачи прекурсоров. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке только одно значение характеристики.
2.1.4. Количество фланцев вакуумной откачки: не менее 2. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.5. Тип системы откачки, обеспечивающей рабочее разряжение в вакуумной камере: Безмасляная система откачки. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.6. Тип низковакуумного насоса системы откачки: Спиральный безмасляный насос; турбомолекулярный насос. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке только одно значение характеристики.
2.1.6.1. Скорость откачки низковакуумного насоса: не менее 15 Кубический метр в час. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.6.2. Предельное остаточное давление низковакуумного насоса: не более 1 Паскаль. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.7. система пневмоуправляемых клапанов, позволяющих производить откачку камеры в автоматическом режиме: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.8. компрессор для пневматической системы установки: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.9. Вакуумметр на весь диапазон рабочих давлений вакуумной камеры и низковакуумного насоса: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.9.1. Диапазон давлений, измеряемых вакуумметром: Паскаль. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
2.1.9.2. Погрешности измерения давления вакууметрами от текущей величины во всём диапазоне измерений: не более 30 Процент. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.10. Система независимых каналов подачи в камеру прекурсоров наносимых веществ и реакционных газов (вода, кислород, озон, сероводород в чистом виде и в составе газа-носителя): Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.10.1. Количество независимых каналов подачи прекурсоров наносимых веществ в камеру в виде газов или паров с помощью газа-носителя с регулятором расхода газа (РРГ): не менее 3. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.10.2. Независимый канал подачи реакционных газов (вода, кислород, озон, сероводород в чистом виде и в составе газа носителя) в камеру с помощью регуляторов расхода газа (РРГ): Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.10.3. Узел распределенной подачи прекурсоров внутри вакуумной камеры: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.10.4. Система термостатирования всех каналов подачи газообразных реагентов в камеру с ПИД регуляцией: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.10.4.1. Диапазон температур термостатирования каналов подачи газообразных реагентов в камеру: Градус Цельсия. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
2.1.10.5. Материал каналов подачи прекурсоров наносимых веществ и реакционных газов (вода, кислород, озон, сероводород в чистом виде и в составе газа носителя) в камеру в виде газов и реакционных газов: Нержавеющая сталь, обеспечивающая коррозионную стойкость: марка стали 316L. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.10.6. Материал корпуса клапанов каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру: Нержавеющая сталь 316L VIM-VAR. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.10.7. материал мембраны клапанов каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру: кобальто-хромо-никель-молибденовый сплав UNS R30003; кобальто-хромо-никель-молибденовый сплав UNS R30008. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.10.8. материал седла клапанов каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру: высокочистый перфторалкокси-полимер (PFA) с полным фторированием. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.10.9. материал крышки седла клапанов каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру: нержавеющая сталь 17-4 PH (тип 630, UNS S17400). Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.10.10. Показатель шероховатости поверхности клапанов каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру, соприкасающейся с рабочей средой (Ra): не более 0.00013 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.10.11. Утечка гелия через седло, обшивку и все уплотнения клапанов каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру, см3/с: не более 0.000000001. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.10.12. Время открытия и закрытия каждого клапана каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру: не более 0.005 Секунда. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.10.13. Электронный датчик положения клапана каналов подачи прекурсоров и реакционных газов в камеру: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.11. система обезвреживания отходящих реакционных газов системы (скруббер): Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.11.1. Отклонение толщины осаждения вещества по Al2O3 от средней величины толщины для подложки диаметром 150 мм: не более 10 Процент. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.12. автоматизированная система управления установкой с возможностью перехода на ручное управление в любой точке технологического процесса,: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.12.1. Параметры процесса напыления, задаваемые автоматизированной системой управления установкой: Давление в вакуумной камере; потоки рабочих газов; температура держателя образцов; время напыления; количество циклов нанесения материалов. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.12.2. возможность сохранять рецепты технологических операций, хранить и экспортировать данные по проведению процесса с использованием автоматизированной системы управления установкой: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.12.3. возможность выдерживать аварийное отключение электроэнергии, обеспечивая остановку оборудования без повреждения агрегатов и узлов через автоматизированную систему управления: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.12.4. обеспечение индикации текущего состояния технологического процесса и механизмов, сигнализации аварийных состояний и осуществления автоматической блокировки требуемых механизмов при возникновении аварийной ситуации (в том числе, в случае прекращения работы системы охлаждения и при достижении минимально допустимых значений рабочего давления в камере).: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.13. Силовая рама для установки вакуумной камеры: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.13.1. Материал силовой рамы: Алюминий; Сталь. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.13.2. Внешняя высота силовой рамы, на которую устанавливается вакуумная камера: не менее 700, не более 1000 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.13.3. Внешняя ширина силовой рамы, на которую устанавливается вакуумная камера: не менее 300, не более 500 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.13.4. Внешняя длина силовой рамы, на которую устанавливается вакуумная камера: не менее 300, не более 500 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.13.5. Диапазон регулировки высоты опор силовой рамы установки: Сантиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке диапазон значений характеристики.
2.1.14. Расположение блоков питания и управления технологическим оборудованием вакуумной камеры: отдельно от вакуумной камеры. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.14.1. Минимальное возможное удаление места размещения блоков питания и управления технологическим оборудованием от вакуумной камеры: не менее 1.5 Метр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.14.2. Вес установки в сборе: не более 500 Килограмм. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1. Вакуумная камера: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.1.1. Материал вакуумной камеры: нержавеющая сталь. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.1.2. Требования к внутренней поверхности камеры и поверхности внутрикамерных экранов: Полированная внутренняя поверхность. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.1.3. шероховатость внутренней поверхности камеры и поверхностей внутрикамерных экранов (Ra): не более 0.002 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.4. Исполнение сварных швов вакуумной камеры: с внутренней стороны камеры, полированные. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.1.5. Внутренняя высота вакуумной камеры.: не менее 30, не более 250 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.6. Внутренняя длина вакуумной камеры: не менее 170, не более 250 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.7. Внутренняя ширина вакуумной камеры: не менее 170, не более 250 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.8. Внешняя высота вакуумной камеры: не менее 150, не более 500 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.9. Внешняя длина вакуумной камеры: не менее 200, не более 350 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.10. Внешняя ширина вакуумной камеры: не менее 200, не более 350 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.11. Схема совмещения держателя подложек с нагревателем подложек и направление осаждения веществ на подложки, совместимая с вакуумным напылением «снизу-вверх» при боковой загрузке с линейным манипулятором: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.1.12. Возможность прижима «снизу вверх» держателя подложек к нагреваемой внутренней поверхности верхнего загрузочного люка: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.1.13. Предельное остаточное давление в камере со всем установленным предусмотренным оборудованием и механизмами с использованием штатной системы откачки установки низковакуумным насосом: не более 0.5 Паскаль. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.14. Время достижения рабочего давления в камере со всем установленным предусмотренным оборудованием и механизмами при откачке от атмосферного давления до давления менее 1*10-1 Па с использованием штатной системы откачки установки низковакуумным насосом: не более 10 Минута. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.15. Верхний загрузочный люк вакуумной камеры для загрузки/выгрузки подложек в камеру/из камеры: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.1.16. Нагреватель подложек в верхнем загрузочном люке камеры: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.1.17. Нагреватель подложек в дне вакуумной камеры: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.
2.1.1.18. Внутренний размер минимальной стороны либо диаметра створа верхнего загрузочного люка камеры: не менее 185 Миллиметр. Указание по заполнению: Участник закупки указывает в заявке конкретное значение характеристики.
2.1.1.19. Боковая система загрузки держателя подложек в камеру для возможности стыковки Установки с перегрузочным вакуумным шлюзом, либо с камерой вакуумного напыления, с линейным манипулятором.: Наличие. Указание по заполнению: Значение характеристики не может изменяться участником закупки.

1 Комплект

13 000 000,00 руб. за единицу

Всего 13 000 000,00 руб.

Похожие позиции

Закупка оборудования (Установка нанесения тонких пленок методом атомно-слоевого осаждения на подложки) для МГУ имени М.В. Ломоносова (ИД 83652))

Ход закупки

Основные сведения

Ответственная организация

Параметры процедуры

Контактные данные

Позиции

Установка нанесения тонких пленок методом атомно-слоевого осаждения на подложки

Заказчики

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ М.В.ЛОМОНОСОВА"

Условия исполнения и места поставки

Требования к участникам

Единые требования к участникам закупок в соответствии с ч. 1 ст. 31 Закона № 44-ФЗ

Требования к участникам закупок в соответствии с ч. 1.1 ст. 31 Закона № 44-ФЗ

Преимущества

Итоги

Контракт / Договор

Жалобы / Контроль

Журнал событий

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ М.В.ЛОМОНОСОВА"

Обеспечение и гарантийные обязательства

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ М.В.ЛОМОНОСОВА"

Преимущество в соответствии с ч. 3 ст. 30 Закона № 44-ФЗ

Национальный режим и ограничения

Установка нанесения тонких пленок методом атомно-слоевого осаждения на подложки